Цілеспрямований ion промінь обробки (FIBM), також називається цілеспрямованої ion промінь фрезерних, надає засіб обробки матеріалів за шкалою нанометрів. Це дозволяє вибіркове видалення хвилини кількостях питання з високим просторовим дозволом саме контроль над даними, що було до цих пір неможливо.

Орієнтовані ion балки обробні інструменти було розроблено в університеті та промислових досліджень лабораторії за останні 25 років і були комерційно доступні з середини 1980-х років. Функціонально, інструменти подібні до звичайних скануючий Електронний мікроскоп (SEM), але використання інтенсивним джерела іонів місце в електронно-емітентом. Обробки зображень, як сканування електронно мікроскоп, роблять Підмітальні промінь піксель на пікселів по всій поверхні за зразком візерунок растрових. Однак в зосереджено ion промінь обробки обох Вторинна електронна емісія і середньої іонів збираються для формування зображення. Це забезпечує додаткові зображення контраст інформацію, якщо прилад працює як сканування ion мікроскопом (SIM). Осадження проведення або ізоляційного матеріалу на виділених областей нанометрів роздільна здатність може бути зроблено з тими самими інструментами. Об'єднання зосереджено ion промінь maching променем, цілеспрямованої ion осадження (FIBD) надає засоби для виготовлення ultraprecision, модифікації та структурування матеріалів. Інструментів також були розроблені які надають подвійний електронів і Іон можливості, використовуючи електронний промінь для обробки зображень і цілеспрямованої ion промінь для обробки і осадження.